Herstellung von funktionellen Schichten und Multischichten mittels Laserdeposition (PLD)
von Andreas, Heinrich
M. Kuhn, A. Heinrich, B. Schey, B. Stritzker, Dornbirner Mikrotechniktage, 2006
von Andreas, Heinrich
M. Kuhn, A. Heinrich, B. Schey, B. Stritzker, Dornbirner Mikrotechniktage, 2006